经过调研，目前国内的厂家在三氯氢硅合成过程中，均存在大量合成后的尾气，该尾气的主要成份为氢气，组成比例大约为H2(80%)，HCL(15%)，SiHCl3(2%)，SiCl4(0.5%)，这些组份均是宝贵的生产原料，如直接淋洗后排空，既污染环境又浪费资源，因此需要进行分离提纯。我公司采用变压吸附原理对三氯氢硅合成工段排放的尾气进行分离提纯，产品气1为氢气，纯度可达到99.999%(可以再次进入HCL合成炉进行HCL合成或者其他用途)，产品气2为解析气可以返回冷凝精馏工段回收SiHCl3和SiCl4。

　　派瑞公司于2008年开始对该行业进行调研、试验，经过技术人员历时2年的刻苦公关，终于成功投入生产。该设备的成功投运为三氯氢硅行业的尾气处理提供了可供同行业借鉴的解决方案，为企业节约了运行成本，也避免了环境污染。同时，该技术也可应用于多晶硅行业，多晶硅还原过程中产生的尾气成份与此相似，比例却低的多，更加容易处理 .天津环保设备厂

 配液罐介绍:

    配液罐设计合理，工艺先进，完全符合国家GMP认证要求。罐体均采用立式双层结构，内胆抛光精度RaO.45。内筒体缠绕螺旋带加热，并充填聚氨酯材料保温。外部采用镜面板或磨砂板保温，罐体光泽一致。凡接触药液部件均采用316L材质，其余均采用304材质。内罐底部封头为凹凸型，采用偏壁式轴向流搅拌，罐体顶部设进水口、回流口、消毒口、清洗球、入孔填料口、呼吸口安装0.22um空气呼吸器、搅拌系统。罐体底部设凝水口、出料口、排污口、取样口、温度探头、液位传感器。配有控制柜操作，仪表显示药液温度、液位，提供上、下限报警功能。根据用户要求，稀配罐可增加充氮气装置和PH计。

    配液罐结构特点：

    此种结构为上下椭圆封头与蜂窝夹套结合，减速机采用卧式蜗轮蜗杆，具有夹层空间小，强制循环、加热面积大、效率高，耐压强度高，比普通夹层空间小，强制循环、加热面积大、效率高，耐压强度高，比普通夹层与盘管节能省时，外形美观等优点.其缺点为焊接多，工艺复杂。技术含量高。减速机为蜗轮蜗杆卧式减速机比立式差减速机可降高度250-330mm左右。 天津环保设备厂